유확산 펌프(oil diffusion pump)
확산펌프는 액체(일반적으로 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통해 고속으로 분사시킴으로써, 이때 충돌하는 공기입자를 아래로 끌어내려 보조펌프(일반적으로 로터리 베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다. 이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하고 기계적인 운동을 하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을 얻는데 많이 사용되고 있습니다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다. 확산 펌프는 대기 상태에서 작동하지 않으며, 기계적으로 펌프가 대부분의 공기를 제거한 후 10³torr에서 작동한다. 확산 펌프는 다단식 제트 장치이며, 제트 장치는 동심 원통들의 집합체이다.
확산 펌프는 펌프의 끓는점까지 펌프 오일을 가열함으로써 작동한다. 증기들은 굴뚝이나 제트장치 안쪽 위를 향하여 이동하며, 제트 노즐을 통하여 굴뚝으로부터 빠져나간다. 사실상, 증기들은 제트 노즐을 통하여 아래 방향으로 분산된다. 증기 분자들은 매우 빠르게 나가고, 실제로 초음속으로 도달한다.
이러한 증기 유출은 펌프의 벽을 향해 이루어지며, 이 벽은 전형적으로 냉각수에 의해서 냉각된다. 증기가 냉각된 벽에 부딪칠 때, 응축되어 유체가 된다. 그리고 이 유체는 펌프 보일러 아래로 흐른다. 크고 무거운 고속 오일 증기분자들이 기체 분자들과 부딪칠 때, 기체의 실질적인 배기가 이루어진다. 기체 분자들은 아래로 부딪치고 증기 제트 흐름의 움직임에 의해 압축된다. 기체 분자들은 그것에 의해서 높은 압력으로 몇 단계 압축되며, 마침내 기계적 펌프에 의해 포라인(foreline)을 통하여 밖으로 펌프된다.
저온 펌프(cryo pump)
저온 냉각 펌프는 120K이하의 극저온 상태에서 기체를 응결시키거나 응결체 안에 가두어 둠으로써 진공 상태를 발생시키는 장치이다. 냉각 매체로는 주로 액화질소나 액화헬륨을 사용하는데, 초고진공 영역에서 배속도가 매우 크므로, 우주선 실험등 여러 분야에서 높은 진공도를 얻는데 많이 쓰이고 있다.
