cryo pump1 유확산 펌프, 저온 펌프 유확산 펌프(oil diffusion pump) 확산펌프는 액체(일반적으로 확산유)를 가열하여 증발시킨 다음, 이를 노즐을 통해 고속으로 분사시킴으로써, 이때 충돌하는 공기입자를 아래로 끌어내려 보조펌프(일반적으로 로터리 베인 펌프)를 통해 배출시키는 것이다. 이 기종의 펌프들은 대체로 구조가 간단하고 기계적인 운동을 하지 않으므로 사용이 간편하여, 고진공을 얻는데 많이 사용되고 있습니다. 그러나 다른 고진공용 펌프와 마찬가지로 반드시 보조펌프를 써야만 한다. 확산 펌프는 대기 상태에서 작동하지 않으며, 기계적으로 펌프가 대부분의 공기를 제거한 후 10³torr에서 작동한다. 확산 펌프는 다단식 제트 장치이며, 제트 장치는 동심 원통들의 집합체이다. 확산 펌프는 펌프의 끓는점까지 펌프 오일을 가열함으.. 2024. 7. 16. 이전 1 다음
