분자 펌프1 분자 펌프 분자 펌프(molecular pump) 이 펌프는 공기 입자성에 근거를 두고, 일정한 각도를 가지고 고속으로 회전을 하는 많은 날개를 가진 회전자와 그사이에 있는 고정자를 써서, 공기의 입자 운동에 일정한 방향성을 부여함으로써 공기를 배출시키는 것이다. 터보 분자 펌프는 10 Torr이하의 고진공 영역에서 일정한 배기량을 유지하므로, 고진공이 지속적으로 요구되는 전자 현미경이나 각종 반도체 생산 및 실험실 장비 등에 많이 쓰이고 있다. 그러나 중. 저진공 영역에서는 배기량이 저하되므로 로터리 베인 펌프등의 보조펌프와 함께 사용되고 있는 것이 일반적이다.터보 펌프는 스테이터와 움직이는 표면인 날개(로터)를 갖고 있다. 스테이터 또한 날개를 갖고 있는데, 움직일 때 각 날개는 충돌한 기체 분자에 약간의.. 2024. 6. 30. 이전 1 다음
