저항가열1 진공증착 - 증착: 증발한 원자나 분자가 특정 면에 응축하는 것 - 진공 증착: 진공 조건하에서 원자나 분자가 증발하여 온도가 낮은 면에 증발된 원자나 분자가 응축하는 것 - 진공 증착법은 만들고자 하는 박막 물질을 가열하여 증발시키고 그 증기를 원하는 면 위에 부착시켜 박막을 생성한다. - 진공증착장치는 진공장치, 가열장치(증발원) 및 부착면(기판면)으로 구성된다. - 가열장치 1)저항가열방식 고융점의 금속(W, Mo, Ta)으로 제작한 가열기 위에 증착재료를 올려놓는다. 가열기에 전류를 흘리면 가열기의 온도가 상승하며, 이 열로 증착재료를 가열시킨다. 가열된 증착 재료는 증발되어 기판에 증착된다. 이때 가열기의 재료와 그 형태가 박막의 물성에 큰 영향을 미치게 된다. 박막을 형성하는 증착재료의 증발온도는 보통.. 2022. 11. 10. 이전 1 다음
