photoresist1 Photoresist의 Sensitivity와 Photospeed 1. Sensitivity Photoresist(PR)의 빛에 대한 민감도 PR내에 존재하는 성분들이 빛에 대해 어느 정도 민감한가를 나타내는 척도로서, PR을 구성하는 감광제의 종류 및 함량, Resin의 광투과도의 영향을 받는다. 이중 감광제의 반응 속도(bleaching)가 sensitivity에 매우 큰 영향을 미친다. 이는 PR의 UV흡광도로 확인할 수 있다. 2. Photospeed Photoresist(PR)가 Pattern을 형성하기 위해 필요로 하는 빛의 양 임의의 공정조건에서 형성된 Pattern을 기준으로 하는 빛에 대한 감도를 말하며, Line 또는 설비별로 다를 수 있으며, 현상(Develop) 공정의 영향도 많이 받는다. 기준은 현상하여 PR이 Pattern을 형성하는 최소 광량.. 2022. 9. 8. 이전 1 다음
