Microwave 플라즈마1 MW플라즈마 특징 ♦ 플라즈마 정의 - Langmuir(1920) : 이온화되어 있는 기체 - 집단행동(collective behavior)을 하는 중성입자와 전하를 띤 입자들의 준중성(quasi-neutral) 기체 ♦ 플라즈마 입자의 운동 - 양전하와 음전하의 국부적인 밀도에 영향을 줌: 원거리 쿨롱 전기력 발생 → 입자운동에 영향 *저압에서 원거리 전자기력이 입자에 미치는 영향이 입자들 사이의 충돌보다 더 큰 경우를 비충돌 (collisionless) 플라즈마라 한다. ♦ 플라즈마의 생성 -생성 조건 1) 충돌입자는 임계치 이상 가속 필요 2) 적당한 충돌 횟수 보장 ☞ 압력과 전압이 중요한 공정변수임 -너무 높은 압력은 평균 자유 행로를 짧게 하므로 입자는 충분한 에너지를 갖도록 가속되지 못함 → 이온화 방해 ♦ .. 2022. 10. 11. 이전 1 다음
